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关于合肥丰创光罩有限公司《合肥丰创光罩有限公司10.5代厂新建项目》环境影响评价文件审批意见的公示

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        根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,我局拟对合肥丰创光罩有限公司《合肥丰创光罩有限公司10.5代厂新建项目》环境影响评价文件作出审批意见。为保证此次审查工作的严肃性和公正性,现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示 ,公示期为5日。

拟批准环境评价报告书、表的项目
项目名称: 合肥丰创光罩有限公司10.5代厂新建项目
建设地点: 高新区
建设单位: 合肥丰创光罩有限公司
环境影响评价机构: 中国电子工程设计院
项目概况: 拟建项目位于合肥市高新区集成电路产业园内。主要建设内容为:新建生产车间、危险品库、废料仓库、柴油罐区、气体罐区、事故应急池等建筑物、构筑物。本项目规划总用地面积35亩,总建筑面积23791平方米。项目建成后设计产能为年产1000片规格为800×920×10mm以上光掩膜板(光罩)产品。
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施: (一)项目排水实行雨污分流,废水分类收集、分质处理。本项目所排放的废水主要有生产废水和生活污水,其中生产废水包括显影及清洗废水、光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水、检查修补后清洗废水、含铬含氟废水、酸碱废气喷淋塔废水、冷却循环排水及反冲洗废水等。 1、新建1套处理能力为37.5m3/d的含铬含氟废水处理系统,用于处理湿法蚀刻及清洗工序产生的含铬含氟废水,处理工艺采用“还原反应槽+过滤+超滤+RO膜”,废水经RO膜处理后,净水进入生产废水处理系统进一步处理,浓水进入蒸发浓缩装置进行浓缩,浓缩后含铬废渣作为危险废物处置。 2、新建1套处理能力为16.8m3/d的含氨废水处理系统,用于处理光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水、检查修补后清洗废水和酸碱废气喷淋塔废水,处理工艺采用“吹脱吸附法”, 废水经封闭的吹脱淋洗装置进行处理,吹脱产生的含氨废气排入硫酸洗涤塔除氨,处理后的废水进入生产废水处理系统进一步处理。 3、新建1套处理能力为400m3/d的生产废水处理系统,用于处理显影及清洗废水、含氨废水处理系统排水、含铬废水处理系统净水、冷却循环排水及反冲洗废水,处理工艺采用“两级酸碱中和法”,废水经处理后,出水汇同生活污水经总排口达标排放,经市政污水管网进入西部组团污水处理厂进行深度处理。 4、厂区总排口处氟化物浓度必须满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中一级排放标准,其他污染因子达到西部组团污水处理厂接管标准和《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)中B等级标准要求。 5、项目设置1个事故应急池,容积为600m3。 6、按规范要求设置废水总排口,在厂区总排口安装水质主要污染物自动在线监控装置;在线监控装置须与市环保局信息中心联网,在项目正式投运前通过环保验收。 (二)加强废气污染防治,你公司须认真落实《报告书》中提出的大气污染防治措施。本项目产生的废气主要有:酸碱废气、有机废气。拟采取的具体净化措施如下: 1、新建1套碱液喷淋洗涤塔,用于处理酸碱废气,经净化后的废气由1根25m高排气筒排放,硫酸雾去除效率≥70%,氨气去除效率≥70%。 2、新建1套光催化氧化+活性炭吸附处理装置,用于处理有机废气,经净化后的废气由1根25m高排气筒排放,有机废气净化效率≥90%。 3、建设车间排风系统,减少无组织废气排放。须按规范要求设置 排气筒高度。 (三)选用低噪声、振动小的设备,合理布局,采取有效的减振、 隔声、消声等措施进行噪声治理,确保厂界达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。 (四)加强固体废弃物环境管理,妥善收集处理各类固体废弃物。废基板、超纯水制备产生的废活性炭、废塑料包装膜、废包装材料、硫酸铵等应回收再利用;废光阻液、废矿物油、含铬废渣、废铅酸电池、有机废气处理产生的废活性炭、废离子交换树脂、危险化学品废包装材料、废汞灯及电池等危险废物须按照危险废物进行管理和安全处置。按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)要求,规范设置和管理危险废物暂存场所。 (五)强化厂区建筑防渗,特别要加强生产厂房、柴油罐区、危险品库、危险废物暂存区、废水处理站、废水输送管线及事故应急池等可能因渗漏对地下水产生影响场所的防渗处理,避免对地下水水质产生影响。 (六)按《报告书》要求,本项目厂界周边设置50米环境防护距离。你公司应积极配合当地政府做好环境防护距离内规划控制工作,不得在防护范围内建设居民住宅、医院、学校等环境敏感建筑。 (七)加强环境风险预防和控制,制定突发环境风险应急预案,加强危险化学品在使用和贮运过程中的管理,落实环境风险控制措施,防止污染事故发生。 (八)环评标准按照合肥高新区环保分局2017年11月16日出具的《关于合肥丰创光罩有限公司10.5代厂新建项目环境影响评价执行标准的确认函》要求执行。
公众参与情况:
建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件:
相关文件:
听证权利告知: 依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。
    公众反馈意见的联系方式
办理部门: 合肥市行政服务中心环保局窗口 联系电话: 0551-63537078
传真: 0551-63537079 通讯地址: 合肥市蜀山区东流路100号合肥市行政服务中心环保局窗口